电子工业洁净厂房无尘车间空气净化工程改造方案
电子工业洁净厂房无尘车间空气净化工程改造方案
电子工业洁净厂房无尘车间空气净化工程改造方案,厂房内只对千级间黄光室设围护结构，其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求,系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。尤其是系统改造前问题比较突出的几个区域，黄光室达到动态千级；护散炉区域经过彩钢板围护，其周围区域温度达到达设计要求；酸洗槽改为上抽风，断面风速均达到0．3m／s;风淋室的初、高效过滤器更换后，阻力降低，更换循环风机后风速提高，出口风速达到26m／s。
本文在天津某电子厂房原有的净化空调工程基础上，洁净厂房,无尘车间,空气净化工程--电子工业洁净厂房无尘车间空气净化工程改造方案对工艺布置和净化空调系统提出改造方案，并对方案设计进行了简单的介绍。
1 原有净化空调工程情况
1．1 简况
该厂房位于天津市开发区，建于1995年，主要生产半导体芯片。厂房共建三层，需改造项目位于二层，系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2， 其中空调面积385m2， 净化面积1125m2，净化级别除黄光室为千级外，其余均为万级。热源为厂区生产的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺杆式冷水机组，冷冻水出水温度为7℃，回水温度12℃，冷水机组和空气处理机组位于一层机房内，空气处理机组采用组装式净化用空气处理机组一台，风机风量为6000m3／h，机外余压为800Pa，送风段设置两条1250mmx800mm的送风管，向系统各房间送风。
1．2 系统存在的主要问题
(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构，其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求；
(2)非净化区域的扩散炉，经测定表面温度可达50℃，散热量非常大，在原有设计中存在空调送风量不足问题，造成扩散炉周围区域的温度高达37℃，并且回风循环使用，不利于节能；
(3)酸洗槽的排风量不足，平均断面风速为O．1m／s，酸性物质存留在室内环境中，不能有效地排出，严重影响室内的卫生和生产环境；
(4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m／s的要求，需要更换循环风机。
2 改造方案
针对系统运行中出现的的以上情况，经与甲
统风量计如表1所示。K-1系统经计算按照扩散炉的散热量计算送风量，根据文献【2】工业炉的散热量，其中室内设计温度取30℃，空调送风温度取20℃，经计算扩散炉的总冷负荷为69kW，空调送风量为20700m3／h根据计算结果JK-2系统仍然采用以前的空调机组(系统机组外阻力为700Pa)，其余两个系统分别采用新空调机组，其中因为机房位置的限制，JK-1系统空调机组设在原来的空调机机房内，K-1系统空调机组选用吊顶式空调机组，置于夹层内。
(2)JK-1系统在黄光室的入口增设风淋室，因无物流通道，设置传递窗，以保证室内的洁净皮。
(3)JK-2系统主要存在两个问题：第一是酸洗槽的排风罩设在酸洗槽的侧面不利于有害气体的排出，改造设计中将排风罩设在酸洗槽上方；第二酸洗槽的排风量根据生产要求，槽的断面风速达到0．25m／s，当所有酸洗槽同时工作时，排风量高达32200m3／h，所以对排风的能源进行回收，设置防酸性热回收装置，风量排出前先与新风进行热量交换进行热量交换，节约运行费用。
(4)K-1系统，因为护散炉间人员极少进入，全年的运行方案为：夏季因扩散炉的散热量较大，系统做成全排式；过渡季节当室外温度低于送风温度时，停止制冷，将新风作为冷源直接送入室内；冬季因为排风温度较高，可用排风预热新风到设计温度后送入室内，最大限度地节省运行费用，避免能源的浪费。
3 改造后的使用效果
系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。尤其是系统改造前问题比较突出的几个区域，黄光室达到动态千级；护散炉区域经过彩钢板围护，其周围区域温度达到达设计要求；酸洗槽改为上抽风，断面风速均达到0．3m／s;风淋室的初、高效过滤器更换后，阻力降低，更换循环风机后风速提高，出口风速达到26m／s。
本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用挣化及非净化区空调系统，不符合“规范”的要求；酸洗槽排风量不足；护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标；改造后将生产工艺布局做了适当调整，按照规
范的要求，对净化区及非净化区单独设置空调系统；加大酸洗槽排风量，同时采用了热排风问收装置，对补充新风进行预热 (预冷)，节约能源，降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中，对于生产环境有要求的工艺，既应该按照生产过程布置工艺，同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制，保证生产环境的可靠性。
4 结论
K-1系统，因为护散炉间人员极少进入，全年的运行方案为：夏季因扩散炉的散热量较大，系统做成全排式；过渡季节当室外温度低于送风温度时，停止制冷，将新风作为冷源直接送入室内；冬季因为排风温度较高，可用排风预热新风到设计温度后送入室内，最大限度地节省运行费用，避免能源的浪费。
电子工业洁净厂房无尘车间空气净化工程改造方案,厂房内只对千级间黄光室设围护结构，其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求,系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。尤其是系统改造前问题比较突出的几个区域，黄光室达到动态千级；护散炉区域经过彩钢板围护，其周围区域温度达到达设计要求；酸洗槽改为上抽风，断面风速均达到0．3m／s;风淋室的初、高效过滤器更换后，阻力降低，更换循环风机后风速提高，出口风速达到26m／s。
本文在天津某电子厂房原有的净化空调工程基础上，洁净厂房,无尘车间,空气净化工程--电子工业洁净厂房无尘车间空气净化工程改造方案对工艺布置和净化空调系统提出改造方案，并对方案设计进行了简单的介绍。
1 原有净化空调工程情况
1．1 简况
该厂房位于天津市开发区，建于1995年，主要生产半导体芯片。厂房共建三层，需改造项目位于二层，系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2， 其中空调面积385m2， 净化面积1125m2，净化级别除黄光室为千级外，其余均为万级。热源为厂区生产的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺杆式冷水机组，冷冻水出水温度为7℃，回水温度12℃，冷水机组和空气处理机组位于一层机房内，空气处理机组采用组装式净化用空气处理机组一台，风机风量为6000m3／h，机外余压为800Pa，送风段设置两条1250mmx800mm的送风管，向系统各房间送风。
1．2 系统存在的主要问题
(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构，其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求；
(2)非净化区域的扩散炉，经测定表面温度可达50℃，散热量非常大，在原有设计中存在空调送风量不足问题，造成扩散炉周围区域的温度高达37℃，并且回风循环使用，不利于节能；
(3)酸洗槽的排风量不足，平均断面风速为O．1m／s，酸性物质存留在室内环境中，不能有效地排出，严重影响室内的卫生和生产环境；
(4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m／s的要求，需要更换循环风机。
2 改造方案
针对系统运行中出现的的以上情况，经与甲
统风量计如表1所示。K-1系统经计算按照扩散炉的散热量计算送风量，根据文献【2】工业炉的散热量，其中室内设计温度取30℃，空调送风温度取20℃，经计算扩散炉的总冷负荷为69kW，空调送风量为20700m3／h根据计算结果JK-2系统仍然采用以前的空调机组(系统机组外阻力为700Pa)，其余两个系统分别采用新空调机组，其中因为机房位置的限制，JK-1系统空调机组设在原来的空调机机房内，K-1系统空调机组选用吊顶式空调机组，置于夹层内。
(2)JK-1系统在黄光室的入口增设风淋室，因无物流通道，设置传递窗，以保证室内的洁净皮。
(3)JK-2系统主要存在两个问题：第一是酸洗槽的排风罩设在酸洗槽的侧面不利于有害气体的排出，改造设计中将排风罩设在酸洗槽上方；第二酸洗槽的排风量根据生产要求，槽的断面风速达到0．25m／s，当所有酸洗槽同时工作时，排风量高达32200m3／h，所以对排风的能源进行回收，设置防酸性热回收装置，风量排出前先与新风进行热量交换进行热量交换，节约运行费用。
(4)K-1系统，因为护散炉间人员极少进入，全年的运行方案为：夏季因扩散炉的散热量较大，系统做成全排式；过渡季节当室外温度低于送风温度时，停止制冷，将新风作为冷源直接送入室内；冬季因为排风温度较高，可用排风预热新风到设计温度后送入室内，最大限度地节省运行费用，避免能源的浪费。
3 改造后的使用效果
系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。尤其是系统改造前问题比较突出的几个区域，黄光室达到动态千级；护散炉区域经过彩钢板围护，其周围区域温度达到达设计要求；酸洗槽改为上抽风，断面风速均达到0．3m／s;风淋室的初、高效过滤器更换后，阻力降低，更换循环风机后风速提高，出口风速达到26m／s。
本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用挣化及非净化区空调系统，不符合“规范”的要求；酸洗槽排风量不足；护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标；改造后将生产工艺布局做了适当调整，按照规
范的要求，对净化区及非净化区单独设置空调系统；加大酸洗槽排风量，同时采用了热排风问收装置，对补充新风进行预热 (预冷)，节约能源，降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中，对于生产环境有要求的工艺，既应该按照生产过程布置工艺，同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制，保证生产环境的可靠性。
4 结论
K-1系统，因为护散炉间人员极少进入，全年的运行方案为：夏季因扩散炉的散热量较大，系统做成全排式；过渡季节当室外温度低于送风温度时，停止制冷，将新风作为冷源直接送入室内；冬季因为排风温度较高，可用排风预热新风到设计温度后送入室内，最大限度地节省运行费用，避免能源的浪费。
